激光器因其环境保护、生产制造加工工艺简易、维护保养低成本等优势，已变成大部分生产厂家的优选。激光器蚀刻机用以高精密光学仪器的平时维护保养，不但能合理减少设备故障率，提升机器设备生产加工高效率，减少产品成本的耗费。
平时维护保养和维护保养中尽量要确保机器设备的清理，并确保使其办公环境清理洁净。激光器蚀刻机器设备的电子光学元器件关键由结晶和眼镜片构成，且其表层均镀有精细膜，尘土对所镀的膜层危害非常大，不但会变弱激光器的功率，比较严重时还会继续毁坏电子光学元器件表层的膜层，以致电子光学元器件毁坏或损毁，导致机器设备没法一切正常工作中。
在平时的维护保养中，如发觉电子光学元器件表层有尘土，可以用吹泡泡冲着元器件表层轻轻地的吹去尘土，禁止用嘴立即冲着元器件表层吹气检查。假如用吹泡泡没法去除元器件表层的污渍，可以用清洁布对元器件表层轻轻地的擦洗，还能够用药棉醮乙醇(纯净度95%之上，分析纯)对元器件表层轻轻地的擦洗。
这时要留意手不可以直接接触到元器件表层的镀膜表层(可以用专用工具比如医用镊子等，是戴护指或胶皮手套)，且擦洗时要沿着一个方位。
关键构件维护保养提议（頻率视机器设备应用状况灵便调节）
1.出現异常情况时，断开一切开关电源，再开展查验；
2.设备应当放到自然通风的地区或恒温室中，由于超出某一溫度后，会危害激光发生器一切正常工作中；
3.维持房间内及机器设备表层干净整洁整洁；
4.定期维护蚀刻机各电子光学元器件是不是有环境污染，若有环境污染时清理；
5.不必压力液压升降平台，避免 精密度减少。