pH值对蚀刻机的光致抗蚀剂的特性也是有重特大的危害，低pH值有利于少的侧蚀(较高的蚀刻指数)。
高pH值一般是对于五金蚀刻设备厂家的迅速蚀刻来讲的。系统软件每日都开，但木板并不是持续运作的，因此 水就会因蒸发导致损害，但这类损害远低于从NHOH加上液中得到 的量。因此 当pH值太高高时，务必提升排量，上升铜成分或减少填补液中的总碱度，高pH值有利于较多的铜的融解。高pH会造成很大的侧蚀并会危害到一些光致抗蚀剂的特性，尤其是水溶光致抗蚀剂，氢氧化钠或NH4OH的加上一般是由一个pH磁感应自动控制系统全自动进行的。由于NH4OH含水量，因此 水的加补就务必保持稳定，以保证 加上的水不容易使氯离子含量或铜的浓度值减少到他们的值下边。
当偏碱蚀刻液的pH值较高时，一些水溶的抗蚀剂便会变软，乃至被剥除。因而，较低的pH值能够被运用于细致路线的蚀刻。假如pH值太高低，务必根据减少排气管，减少铜成分，添加氢氧化钠或提升填补液中的总碱度。水溶液的pH值在铜的可溶操纵、蚀刻速度和侧蚀层面十分重要。填补液中的NH4OH出示了很多的必须保持偏碱的pH值(远超7．0)的基本液，但附加必须的氢氧化钠规定做到强烈推荐的pH值范畴(远高于7．0)。反过来，低pH值是对于慢速度蚀刻的。当氢氧化钠中没有会扰乱系统软件稳定性的水时，二氧化氮在pH值的操纵下能工作中得非常好，但应用时是非常风险的。因而，高pH值的偏碱蚀刻剂五金蚀刻设备厂家一般将其应用于增产率的生产制造。殊不知，针对一个给出的偏碱蚀刻管理体系，pH值务必高过限(取决于铜的浓度值)，目地是为了更好地保持蚀刻机水溶液中的铜盐成分。