（1）FeCl3浓度值对蚀刻速率的危害：FeCl3蚀刻液中随FeCl3浓度值的提高，蚀刻速率加速。当所含FeCl3超出某一浓度值时，因为蚀刻机水溶液粘度提升，浸蚀速率反倒有一定的降低。五金蚀刻设备厂家针对选用抗蚀印料或抗蚀湿膜的铜零件，浓度值可调节在35°波美度上下；选用液态光致蚀剂（如骨胶，丙烯酸乳液等）的铜零件。浓度值操纵在42°波美度上下。一般状况下，蚀刻机医疗箱内药液浓度值在350g/L-600g/L为宜。
（2）硫酸的加上量对蚀刻机的浸蚀速率危害：在腐蚀机中添加硫酸，一则可以抑止FeCl3和CuCl2的水解反应；二则可提升蚀刻速率。尤其是当蚀刻液中铜成分大路37.4g/L后，盐酸的作用更为显著。但这应依据不一样的抗蚀层原材料挑选适宜的酸度，假如抗蚀层挑选骨胶，果胶，丙烯酸乳液等光致抗蚀层，则不能用太高的酸度，不然，抗蚀层便于被毁坏。针对光感应环氧树脂抗蚀剂及油墨印刷抗蚀层，则可以挑选较高的酸度。
（3）温度对蚀刻速率的危害：在FeCl3蚀刻加工工艺中，随温度的上升，蚀刻机中产品工件的浸蚀速率显著加速。例如在50℃时，全新升级蚀刻液对铜的蚀刻速率可做到10μm/min。但在现实制造中，全是选用常温下蚀刻方式。FeCl3对铜的蚀刻是一个化学反应，伴随着蚀刻的开展，蚀刻机中药材水温度会慢慢上升，蚀刻速率加速。伴随着FeCl3的耗费，蚀刻速率也会降低。与此同时这一提温全过程也较为迟缓，因此在全部蚀刻全过程中蚀刻速率转变并不大。