乍一看光刻技术和蚀刻机很接近，可是光刻技术和蚀刻机却不混为一谈，由于刻蚀仅仅制造芯片其中之一的步骤而已。而刻蚀机只不过是众多芯片制造设备其中之一。下边在这里给大家聊一下蚀刻机。
蚀刻机和光刻技术其实也就是截然不同的二种机器设备，不论从作用或是在结构上而言都是天壤之别，光刻技术是芯片制造过程里为中心的机器设备，芯片制造是通过光刻技术所决定的，而非蚀刻机。
从原理来看光刻技术和蚀刻机。
如果将制造芯片比作建房子，那样光刻技术的作用是把房子的结构标明在地板上。蚀刻机便是在光刻技术进行之后才登场的机器设备，都是光刻技术进行之后尤为重要的机器设备之一。蚀刻机主要的的作用是依照光刻技术早已标明好的线去做基础建设，把没有用的地区给清理掉，只留光刻技术环节中标明好一点的路线。
从在结构上看来光刻技术和蚀刻机。
光刻技术的重要的关键技术便是灯源和激光光路，其灯源和激光光路的重要构成部分有四个，灯源、曝出、检验、和其它高精密机械制造构成。对比下，蚀刻机的构造构成就需要简单一些，通常是等离子频射源、反映室和真气体路等构成。